低溫等離子體技術(Low-temperature Plasma)因其多種優(yōu)點和出眾性能在材料處理和表面改性中表現(xiàn)出了領域應用。
基于低溫等離子體表面改性特有的性質,如反應體系處于低溫,反應僅涉及材料的淺表面(納米級),空間處理均勻性強
可處理形狀復雜材料,表面處理均勻性好,在電子、化工、生物醫(yī)學材料的表面改性等方面得到了廣泛應用與發(fā)展,顯示出了良好的應用性能。