低溫等離子體技術(shù)(Low-temperature　Plasma)因其多種優(yōu)點(diǎn)和出眾性能在材料處理和表面改性中表現(xiàn)出了領(lǐng)域應(yīng)用。

基于低溫等離子體表面改性特有的性質(zhì)，如反應(yīng)體系處于低溫，反應(yīng)僅涉及材料的淺表面(納米級(jí))，空間處理均勻性強(qiáng)

可處理形狀復(fù)雜材料，表面處理均勻性好，在電子、化工、生物醫(yī)學(xué)材料的表面改性等方面得到了廣泛應(yīng)用與發(fā)展，顯示出了良好的應(yīng)用性能。